На изображении показана конструкция чувствительного элемента датчика давления, выполненного на керамической мембране с нанесёнными тензорезисторами (ТНК-сенсор).
Элемент состоит из:
керамической мембраны, деформирующейся под воздействием давления;
тензорезисторов, нанесённых методом тонкоплёночного напыления;
сапфировой подложки, обеспечивающей высокую механическую стабильность и термостойкость;
серебросодержащего припоя, который соединяет слои и гарантирует долговременную надёжность контакта.
При воздействии давления мембрана прогибается, изменяя сопротивление тензорезисторов. Эти изменения преобразуются в электрический сигнал, пропорциональный приложенному давлению.
Такая конструкция обеспечивает высокую точность, низкий дрейф показаний и устойчивость к перегрузкам, что делает керамические сенсоры оптимальными для промышленных преобразователей давления.